
可实时动态显示当前UPH,测试数量,测试良率
可显示当前测试器件坐标信息,Lot ID,Wafer ID
支持图表化by wafer显示UPH, 合格颗数,不合格颗数与合格率
可监控测试记录详细时间
支持自定义扎针驻留时间,保证测试稳定性
良率统计及离线数据复测
统计监控批次良率,在出现异常时自动报警或停机,以防止大规模质量事故。
根据新的测试指标,对已完成测试的晶圆RAW Data进行离线复测,按新规则重新计算良率。
AI智能探针接触监测
实时识别接触异常并动态优化清针策略;
Wafer Map智能分析
自动识别异常模式并定位良率损失根因;
测试程序自动生成
基于低代码与大模型技术大幅提升开发效率;
测试误判智能识别
精准区分真实失效与测试异常,有效降低过杀率。