
AI+附属设备管理平台针对Scrubber、Pump、Chiller等半导体附属设备的运行特性,实现状态实时监控、健康度评估与预测性维护,保障附属设备高可用性及工艺连续性。
平台功能
实时采集附属设备的关键运行参数(温度、压力、电流、振动等),实现多阈值分级告警与运行状态可视化看板。
基于多源传感数据与设备机理规则库,自动识别附属设备异常模式(如泵气蚀、油路堵塞、Chiller冷媒泄漏等),并进行故障根因定位。
结合剩余寿命预测与备件库存动态模型,智能预警备件更换需求,优化备件采购与库存策略,降低呆滞成本。
与维修管理系统集成,自动生成预测性维护工单,跟踪处理进度并反馈执行结果,持续优化诊断与预测算法模型。